Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники — Гаврилов Сергей Александрович

ISBN: 978-5-9692-0304-4
Страниц: 257 (Офсет)
Оформление
Тип обложки: 7Бц — твердая, целлофанированная (или лакированная)
Иллюстрации: Черно-белые
Масса: 304 г
Размеры: 207x135x18 мм

Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Для студентов, обучающихся по специальностям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 010803 (014100) «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы, 210100…

Зато лауреата и его издателя награждает книготорговля: тиражи и продажи премированных книг растут не только во Франции, но и во всем мире. В 2001 году его подписала и Россия. «Мы вместе мыслим. Отныне возраст членов жюри престижной Гонкуровской премии не должен превышать 80 лет.